高發光效率之發光元件之製造方法

高發光效率之發光元件之製造方法

2007/01/01 徐大正,黃忠民 謝明勳,楊雅蘭

摘要:

一種高發光效率之發光元件製造方法，包含利用一雷射光束照射一含半導體發光元件之晶圓以將晶圓切割成晶片，再以濕式酸蝕刻方式清除雷射光束切割時所產生之副產物(byproduct)。

• Link:

http://twpat-simple.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm

• 專利種類/證號

     發明/I270223

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patent pdf: https://drive.google.com/file/d/0B-Jg2ZDReoWuYVFlYTljaXVRVkE/view?usp=sharing